Удаление микрочастиц вакуумно-дугового разряда в процессе ионной имплантации и осаждения покрытия за счет применения короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения (анализ экспериментальных результатов); Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 54, № 11/2 (приложение).— 2011.— C. 137-141 |
|---|---|
| Awduron Eraill: | Рябчиков А. И. Александр Ильич, Сивин Д. О. Денис Олегович, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Ананьин П. С. Петр Семенович, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, Шулепов И. А. Иван Анисимович |
| Crynodeb: | Рассматривается несколько физич. механизмов, обеспечивающих уменьшение плотности микрочастиц и трансформации их размеров и формы при применении короткоимпульсного ВЧ-потенциала смещения. Эффект отражения в электрич. поле разделения заряда вблизи потенциальной поверхности связан с наиболее низкоэнергитичными микрочастицами за счет накопления на них отрицат. заряда в плазме. Предположительно имеет место отражение микрочастиц, получивших значительный отрицат. заряд уже на потенциальной поверхности. Процессы разогрева микрочастиц, трансформации их размеров и формы определяются электрич. полем на поверхности, приводящим к появлению тока автоэлектронной эмиссии |
| Iaith: | Rwseg |
| Cyhoeddwyd: |
2011
|
| Pynciau: | |
| Fformat: | Pennod Llyfr |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506091 |
Eitemau Tebyg
Удаление микрочастиц вакуумно-дугового разряда в процессе ионной имплантации и осаждения покрытия за счет применения короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения (результаты исследования); Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)
Cyhoeddwyd: (2011)
Cyhoeddwyd: (2011)
Удаление микрочастиц вакуумно-дугового разряда в процессе ионной имплантации и осаждения покрытия за счет применения короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения (оборудование и методы исследования); Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)
Cyhoeddwyd: (2011)
Cyhoeddwyd: (2011)
Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
gan: Чжан Ле
Cyhoeddwyd: (2017)
gan: Чжан Ле
Cyhoeddwyd: (2017)
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
Cyhoeddwyd: ()
Cyhoeddwyd: ()
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
Cyhoeddwyd: ()
Cyhoeddwyd: ()
Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
gan: Брюхов В. В.
Cyhoeddwyd: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)
gan: Брюхов В. В.
Cyhoeddwyd: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты)
Cyhoeddwyd: ()
Cyhoeddwyd: ()
Применение высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения для ионно-лучевой и плазменной обработки проводящих и диэлектрических материалов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика
gan: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Cyhoeddwyd: (2010)
gan: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Cyhoeddwyd: (2010)
Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Cyhoeddwyd: (2016)
Cyhoeddwyd: (2016)
Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2
Cyhoeddwyd: (2012)
Cyhoeddwyd: (2012)
Магнетизм микрочастиц
gan: Вонсовский С. В.
Cyhoeddwyd: (Москва, Мир, 1975)
gan: Вонсовский С. В.
Cyhoeddwyd: (Москва, Мир, 1975)
Магнетизм микрочастиц
gan: Вонсовский С. В. Сергей Васильевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1973)
gan: Вонсовский С. В. Сергей Васильевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1973)
Возможности повышения эффективности алмазного инструмента методом ионной имплантации; Современные проблемы машиностроения
gan: Некрасова Т. В.
Cyhoeddwyd: (2008)
gan: Некрасова Т. В.
Cyhoeddwyd: (2008)
Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
gan: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Cyhoeddwyd: (2013)
gan: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Cyhoeddwyd: (2013)
Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
Cyhoeddwyd: (2011)
Cyhoeddwyd: (2011)
Физика высокочастотного емкостного разряда
gan: Савинов В. П. Владимир Павлович
Cyhoeddwyd: (Москва, Физматлит, 2013)
gan: Савинов В. П. Владимир Павлович
Cyhoeddwyd: (Москва, Физматлит, 2013)
Физика высокочастотного емкостного разряда
gan: Савинов В. П.
Cyhoeddwyd: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)
gan: Савинов В. П.
Cyhoeddwyd: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)
Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
gan: Черняев А. В. Александр Владимирович
Cyhoeddwyd: (Москва, Радио и связь, 1990)
gan: Черняев А. В. Александр Владимирович
Cyhoeddwyd: (Москва, Радио и связь, 1990)
Наводороживание циркониевого сплава Э110 с покрытиями на основе нитрида титана, полученными методом катодно-дугового осаждения с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
gan: Прямушко Т. С. Татьяна Сергеевна
Cyhoeddwyd: (2016)
gan: Прямушко Т. С. Татьяна Сергеевна
Cyhoeddwyd: (2016)
Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации; VI Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике; Ч. 3
gan: Араубов Н. М.
Cyhoeddwyd: (1986)
gan: Араубов Н. М.
Cyhoeddwyd: (1986)
Изменение поверхностных свойств изоляторов после ионной имплантации; Современные техника и технологии; Т. 1
gan: Лебедь К. В.
Cyhoeddwyd: (2008)
gan: Лебедь К. В.
Cyhoeddwyd: (2008)
Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
gan: Чжан Ле
Cyhoeddwyd: (2015)
gan: Чжан Ле
Cyhoeddwyd: (2015)
Высокочастотные характеристики пленок меди, осажденных на диэлектрическое основание методом вакуумно-дугового испарения; Высокие технологии, образование, промышленность; Т. 2
Cyhoeddwyd: (2011)
Cyhoeddwyd: (2011)
Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2
gan: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Cyhoeddwyd: (2015)
gan: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Cyhoeddwyd: (2015)
Дислокацинные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
Cyhoeddwyd: (1989)
Cyhoeddwyd: (1989)
Дислокационная структура в крупнозернистой меди после ионной имплантации; Физика и химия обработки материалов; № 4
Cyhoeddwyd: (1996)
Cyhoeddwyd: (1996)
Повышение прочности рабочих поверхностей интструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии; Т. 1
gan: Солдатов А. К.
Cyhoeddwyd: (2008)
gan: Солдатов А. К.
Cyhoeddwyd: (2008)
Влияние ионной имплантации инструмента на вид образующейся стружки; Современные техника и технологии; Т. 1
gan: Ласуков А. А. Александр Александрович
Cyhoeddwyd: (2005)
gan: Ласуков А. А. Александр Александрович
Cyhoeddwyd: (2005)
Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
gan: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
Cyhoeddwyd: (2012)
gan: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
Cyhoeddwyd: (2012)
Рассеяние микрочастиц: учебное пособие
gan: Шишкина Т. В. Татьяна Викентьевна
Cyhoeddwyd: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2008)
gan: Шишкина Т. В. Татьяна Викентьевна
Cyhoeddwyd: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2008)
Образование плазмоидов на основе высокочастотного разряда
Cyhoeddwyd: (Томск, 1986)
Cyhoeddwyd: (Томск, 1986)
Плазма высокочастотного разряда во влажном воздухе
Cyhoeddwyd: (Томск, 1987)
Cyhoeddwyd: (Томск, 1987)
Электронно-микроскопические исследования микроструктуры поликристаллического железа после импульсной ионной имплантации углеродом; Радиационные дефекты в металлах
Cyhoeddwyd: (1988)
Cyhoeddwyd: (1988)
Формирование интерметаллидных слоев при высокоинтенсивной ионной имплантации; 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии"
Cyhoeddwyd: (2001)
Cyhoeddwyd: (2001)
Фундаментальные вопросы ионной имплантации: материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата
Cyhoeddwyd: (Алма-Ата, Наука, 1987)
Cyhoeddwyd: (Алма-Ата, Наука, 1987)
Электронное строение и свойства облученного ионами оксида алюминия; Физические и физико-химические основы ионной имплантации
gan: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Cyhoeddwyd: (2004)
gan: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Cyhoeddwyd: (2004)
Вакуумно-компрессионные электрические печи
gan: Лейканд М. С. Михаил Соломонович
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергия, 1971)
gan: Лейканд М. С. Михаил Соломонович
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергия, 1971)
Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)
Cyhoeddwyd: (2011)
Cyhoeddwyd: (2011)
Физика: волновые свойства микрочастиц лабораторный практикум
gan: Алифанов О. В.
Cyhoeddwyd: (Москва, МИСИС, 2017)
gan: Алифанов О. В.
Cyhoeddwyd: (Москва, МИСИС, 2017)
Комбинированные методы вакуумно-дугового синтеза твердых и нанокомпозитных сверхтвердых покрытий на основе Tin; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 12
Cyhoeddwyd: (2004)
Cyhoeddwyd: (2004)
Eitemau Tebyg
-
Удаление микрочастиц вакуумно-дугового разряда в процессе ионной имплантации и осаждения покрытия за счет применения короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения (результаты исследования); Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)
Cyhoeddwyd: (2011) -
Удаление микрочастиц вакуумно-дугового разряда в процессе ионной имплантации и осаждения покрытия за счет применения короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения (оборудование и методы исследования); Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2 (приложение)
Cyhoeddwyd: (2011) -
Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
gan: Чжан Ле
Cyhoeddwyd: (2017) -
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
Cyhoeddwyd: () -
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
Cyhoeddwyd: ()