Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Поверхность. Физика, химия, механика/ Российская кадемия наук (РАН), Институт физики твердого тела (ИФТТ).— , 1983-1996 № 3.— 1992.— С. 98-105
Autor Principal:	Рябчиков А. И. Александр Ильич
Outros autores:	Насыров Р. А.
Idioma:	ruso
Publicado:	1992
Subjects:	труды учёных ТПУ
Formato:	MixedMaterials Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506080

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	506080
005	20231101103139.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\176943
035			\|a RU\TPU\prd\176942
090			\|a 506080
100			\|a 20130430a k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов \|f А. И. Рябчиков, Р. А. Насыров
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\294 \|t Поверхность. Физика, химия, механика \|f Российская кадемия наук (РАН), Институт физики твердого тела (ИФТТ) \|d 1983-1996
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\107628 \|t № 3 \|v С. 98-105 \|d 1992
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Рябчиков \|b А. И. \|c физик \|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук \|f 1950- \|g Александр Ильич \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
701		1	\|a Насыров \|b Р. А.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20130430
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20130430 \|g RCR
942			\|c BK