Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов
| Parent link: | Поверхность. Физика, химия, механика/ Российская кадемия наук (РАН), Институт физики твердого тела (ИФТТ).— , 1983-1996 № 3.— 1992.— С. 98-105 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
1992
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506080 |