Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
| Parent link: | Поверхность. Физика, химия, механика/ Российская кадемия наук (РАН), Институт физики твердого тела (ИФТТ).— , 1983-1996 № 3.— 1992.— С. 98-105 |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 其他作者: | |
| 語言: | 俄语 |
| 出版: |
1992
|
| 主題: | |
| 格式: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506080 |