|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
497989 |
| 005 |
20240212102808.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\167804
|
| 090 |
|
|
|a 497989
|
| 100 |
|
|
|a 20130207a2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Эрозия поверхности твердого тела при облучении мощными субмикросекундными ионными пучками
|f О. М. Степанова, В. П. Кривобоков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 7 назв.
|
| 330 |
|
|
|a Рассмотрена эрозия твердого тела под действием мощных импульсных ионных пучков. Путем численного моделирования получены значения выхода атомов с облучаемой поверхности в результате испарения. Выполнено исследование влияния параметров пучка и мишени на интенсивность эмиссии. Сделана оценка технологических возможностей мощных субмикросекундных ионных пучков в задачах травления поверхности твердых тел.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\650
|t Известия Российской академии наук. Серия физическая
|f Российская академия наук
|d 1992-
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\79563
|t Т. 74, № 2
|v С. 139-142
|d 2010
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Степанова
|b О. М.
|c специалист в области атомной энергетики
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1982-
|g Ольга Михайловна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31298
|
| 701 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130207
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170411
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|