Эрозия поверхности твердого тела при облучении мощными субмикросекундными ионными пучками

Bibliographische Detailangaben
Parent link:Известия Российской академии наук. Серия физическая/ Российская академия наук.— , 1992-
Т. 74, № 2.— 2010.— С. 139-142
1. Verfasser: Степанова О. М. Ольга Михайловна
Weitere Verfasser: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Zusammenfassung:Рассмотрена эрозия твердого тела под действием мощных импульсных ионных пучков. Путем численного моделирования получены значения выхода атомов с облучаемой поверхности в результате испарения. Выполнено исследование влияния параметров пучка и мишени на интенсивность эмиссии. Сделана оценка технологических возможностей мощных субмикросекундных ионных пучков в задачах травления поверхности твердых тел.
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: 2010
Schlagworte:
Format: Buchkapitel
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=497989

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 497989
005 20240212102808.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\167804 
090 |a 497989 
100 |a 20130207a2010 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Эрозия поверхности твердого тела при облучении мощными субмикросекундными ионными пучками  |f О. М. Степанова, В. П. Кривобоков 
320 |a Библиогр.: 7 назв. 
330 |a Рассмотрена эрозия твердого тела под действием мощных импульсных ионных пучков. Путем численного моделирования получены значения выхода атомов с облучаемой поверхности в результате испарения. Выполнено исследование влияния параметров пучка и мишени на интенсивность эмиссии. Сделана оценка технологических возможностей мощных субмикросекундных ионных пучков в задачах травления поверхности твердых тел. 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\650  |t Известия Российской академии наук. Серия физическая  |f Российская академия наук  |d 1992- 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\79563  |t Т. 74, № 2  |v С. 139-142  |d 2010 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Степанова  |b О. М.  |c специалист в области атомной энергетики  |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1982-  |g Ольга Михайловна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31298 
701 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20130207 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170411  |g RCR 
942 |c BK