Эрозия поверхности твердого тела при облучении мощными субмикросекундными ионными пучками
| Parent link: | Известия Российской академии наук. Серия физическая/ Российская академия наук.— , 1992- Т. 74, № 2.— 2010.— С. 139-142 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Рассмотрена эрозия твердого тела под действием мощных импульсных ионных пучков. Путем численного моделирования получены значения выхода атомов с облучаемой поверхности в результате испарения. Выполнено исследование влияния параметров пучка и мишени на интенсивность эмиссии. Сделана оценка технологических возможностей мощных субмикросекундных ионных пучков в задачах травления поверхности твердых тел. |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=497989 |