Эрозия поверхности твердого тела при облучении мощными субмикросекундными ионными пучками

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:Известия Российской академии наук. Серия физическая/ Российская академия наук.— , 1992-
Т. 74, № 2.— 2010.— С. 139-142
المؤلف الرئيسي: Степанова О. М. Ольга Михайловна
مؤلفون آخرون: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
الملخص:Рассмотрена эрозия твердого тела под действием мощных импульсных ионных пучков. Путем численного моделирования получены значения выхода атомов с облучаемой поверхности в результате испарения. Выполнено исследование влияния параметров пучка и мишени на интенсивность эмиссии. Сделана оценка технологических возможностей мощных субмикросекундных ионных пучков в задачах травления поверхности твердых тел.
اللغة:الروسية
منشور في: 2010
الموضوعات:
التنسيق: فصل الكتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=497989
الوصف
الملخص:Рассмотрена эрозия твердого тела под действием мощных импульсных ионных пучков. Путем численного моделирования получены значения выхода атомов с облучаемой поверхности в результате испарения. Выполнено исследование влияния параметров пучка и мишени на интенсивность эмиссии. Сделана оценка технологических возможностей мощных субмикросекундных ионных пучков в задачах травления поверхности твердых тел.