Структурообразование в силикатных покрытиях под действием ВЧ-плазмы и ВЧ-поля
| Parent link: | Международная конференция "Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах", 22-25 сентября 1998 г., г. Томск: тезисы докладов/ Томский политехнический университет. С. 156-157.— , 1998 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
1998
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=49461 |