Действие ионного облучения на структуру и свойства оксидных диэлектриков
| Parent link: | Перспективные материалы: научный журнал.— , 1996-.— 1028-978X № 6.— 2000.— С. 26-35 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Выполнен системный анализ влияния ионных пучков различных элементов на структуру и проводящие свойства поверхности широкого класса диэлектрич. материалов. Проведенный комплекс исследований показал, что нарушение стехиометрии состава слоев по кислороду в результате ионной бомбардировки является необходимым, но недостаточным условием для перехода диэлектрика в проводящее состояние. Только при одновременно протекающих в условиях ионного облучения процессах нарушения стехиометрии и радиационно-стимулированной структурной перестройки поверхности может быть сформирована система локализованных состояний, отвечающих за появление значительной электронной составляющей тока в ионно-модифицированных слоях диэлектрика |
| Published: |
2000
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=494015 |