Основные структуры полупроводниковых интегральных схем
| Parent link: | Интегральные устройства радиоэлектроники. / Романовский М. Н.. Ч. 1 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Shrnutí: | Рассмотрены материалы, технология изготовления, модели основных структур полупроводниковых интегральных схем. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств». Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Vydáno: |
Москва, ТУСУР, 2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4936 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4936.jpg |
| Médium: | Elektronický zdroj Kniha |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 4936 | ||
| 100 | |a 20250516d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Основные структуры полупроводниковых интегральных схем |f Романовский М. Н. |h Ч. 1 | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c ТУСУР |d 2012 | ||
| 215 | |a 123 с. | ||
| 330 | |a Рассмотрены материалы, технология изготовления, модели основных структур полупроводниковых интегральных схем. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств». | ||
| 333 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | ||
| 461 | 0 | |1 2001 |a Интегральные устройства радиоэлектроники |f Романовский М. Н. |v Ч. 1 | |
| 610 | 0 | |a миниатюризация радиоэлектронных средств | |
| 610 | 0 | |a классификация интегральных схем | |
| 610 | 0 | |a сущность технологии полупроводниковых интегральных схем | |
| 610 | 0 | |a основные направления функциональной электроники | |
| 610 | 0 | |a разновидности подложек | |
| 610 | 0 | |a полупроводниковые материалы | |
| 610 | 0 | |a механическая обработка подложек | |
| 610 | 0 | |a виды загрязнений и очистки | |
| 610 | 0 | |a жидкостная обработка | |
| 610 | 0 | |a сухое травление | |
| 610 | 0 | |a назначение и материалы | |
| 610 | 0 | |a получение проводящих слоев физическими методами | |
| 610 | 0 | |a получение проводящих слоев химическими методами | |
| 610 | 0 | |a диффузия примесей | |
| 610 | 0 | |a ионное легирование | |
| 610 | 0 | |a эпитаксиальное наращивание | |
| 610 | 0 | |a полупроводниковые гетеропереходы | |
| 610 | 0 | |a квантовые ямы | |
| 610 | 0 | |a сверхрешетки | |
| 610 | 0 | |a методы получения | |
| 610 | 0 | |a параметры качества диэлектрических пленок | |
| 610 | 0 | |a защитные покрытия | |
| 610 | 0 | |a фотолитография | |
| 610 | 0 | |a повышение разрешающей способности фотолитографии | |
| 610 | 0 | |a другие виды литографии | |
| 610 | 0 | |a сущность проектирования интегральных схем | |
| 610 | 0 | |a технологические модели | |
| 610 | 0 | |a физико-топологические модели | |
| 610 | 0 | |a электрические модели | |
| 700 | 1 | |a Романовский |b М. Н. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4936 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/4936.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/4936.jpg | ||