Основные структуры полупроводниковых интегральных схем

Основные структуры полупроводниковых интегральных схем

Bibliographic Details
Parent link:	Интегральные устройства радиоэлектроники. / Романовский М. Н.. Ч. 1
Main Author:	Романовский М. Н.
Summary:	Рассмотрены материалы, технология изготовления, модели основных структур полупроводниковых интегральных схем. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств». Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки
Published:	Москва, ТУСУР, 2012
Subjects:	миниатюризация радиоэлектронных средств классификация интегральных схем сущность технологии полупроводниковых интегральных схем основные направления функциональной электроники разновидности подложек полупроводниковые материалы механическая обработка подложек виды загрязнений и очистки жидкостная обработка сухое травление назначение и материалы получение проводящих слоев физическими методами получение проводящих слоев химическими методами диффузия примесей ионное легирование эпитаксиальное наращивание полупроводниковые гетеропереходы квантовые ямы сверхрешетки методы получения параметры качества диэлектрических пленок защитные покрытия фотолитография повышение разрешающей способности фотолитографии другие виды литографии сущность проектирования интегральных схем технологические модели физико-топологические модели электрические модели
Online Access:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4936 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4936.jpg
Format:	Electronic Book

Internet

http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4936
https://e.lanbook.com/img/cover/book/4936.jpg