Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Yhteisötekijä: | |
| Kieli: | venäjä |
| Julkaistu: |
Минск, Наука и техника, 1989
|
| Aiheet: | |
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=49249 |