Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
| Autor principal: | |
|---|---|
| Autor corporatiu: | |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Минск, Наука и техника, 1989
|
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=49249 |