Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Чехович Е. К. Евгений Казимирович
Körperschaft:	Академия наук Белорусской ССР (АН БССР) Институт электроники
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Минск, Наука и техника, 1989
Schlagworte:	оптико-электронные приборы микроэлектроника контроль погрешности измерительная техника АСУ
Format:	MixedMaterials Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=49249

Ähnliche Einträge