|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
49249 |
| 005 |
20231031032552.0 |
| 010 |
|
|
|a 5343000878
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\51571
|
| 090 |
|
|
|a 49249
|
| 100 |
|
|
|a 20030328d1989 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
|f Е. К. Чехович
|g АН Белорусской ССР. Институт электроники
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 213 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 200-211.
|
| 610 |
1 |
|
|a оптико-электронные приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a погрешности
|
| 610 |
1 |
|
|a измерительная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a АСУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.383(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Чехович
|b Е. К.
|g Евгений Казимирович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)
|b Институт электроники
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\7643
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030328
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20091222
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Оптико-электронные системы
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
