Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلف مشترك: | |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
Минск, Наука и техника, 1989
|
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | كتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=49249 |
| وصف مادي: | 213 с. ил. |
|---|---|
| ردمك: | 5343000878 |