Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Published: |
Минск, Наука и техника, 1989
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=49249 |
| Physical Description: | 213 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5343000878 |