Тепловые и эрозионные процессы при работе магнетронных распылительных систем с неохлаждаемыми мишенями
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 180-185 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491453 |