Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда

Библиографические подробности
Источник:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 176-179
Главный автор: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Другие авторы: Янин С. Н. Сергей Николаевич
Опубликовано: 2009
Предметы:
Формат: Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491452

Схожие документы