Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда

Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда

Библиографические подробности
Источник:	Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 176-179
Главный автор:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Другие авторы:	Янин С. Н. Сергей Николаевич
Опубликовано:	2009
Предметы:	труды учёных ТПУ
Формат:	Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491452

Схожие документы

Эрозия жидкофазной мишени в плазме магнетронного разряда
по: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Опубликовано: (2007)

Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника
по: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Опубликовано: (2006)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком
по: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Опубликовано: (2004)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
по: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Опубликовано: (2014)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния
по: Бельгебаева Д. Е.
Опубликовано: (2019)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС
по: Валдаева С. В.
Опубликовано: (2012)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
по: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Опубликовано: (2015)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Опубликовано: (2019)

Обработка поверхности материалов плазмой магнетронного разряда и ионными пучками
Опубликовано: (2009)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Опубликовано: (2005)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Опубликовано: (2006)

Определение напряжения зажигания магнетронного разряда
по: Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич
Опубликовано: (2003)

Исследование плазмы высокочастотного магнетронного разряда
по: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Опубликовано: (2014)

Изотопные эффекты при электромиграции ионов в распыленных галогенидах олова
по: Тихомиров И. А. Иван Арсентьевич
Опубликовано: (1974)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2014)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита
по: Сурменева М. А. Мария Александровна
Опубликовано: (2009)

Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда
Опубликовано: (2016)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
по: Шандра З. А.
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 1972)

Осаждение защитных теплоотражающих покрытий с помощью плазмы магнетронного разряда
Опубликовано: (2014)

РФЭС исследование нетканых материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных в плазме магнетронного разряда при распылении медной мишени
по: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Опубликовано: (2019)

Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда
по: Шабунин А. С. Артём Сергеевич
Опубликовано: (2009)

Бесфонная гетерогенная рекомбинация атомов на поверхности порошков
Опубликовано: (1986)

Бесфоконная гетерогенная рекомбинация атомов на поверхности порошков
Опубликовано: (1986)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
по: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Опубликовано: (2022)

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра
по: Чжилей С.
Опубликовано: (2015)

Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W
по: Просолов К. А.
Опубликовано: (2022)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов
по: Марьин П. В. Павел Владимирович
Опубликовано: (2021)

Модифицирование PLLA матриксов методом магнетронного распыления медной мишени для придания им антибактериальных свойств
по: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Опубликовано: (2017)

Влияние внутренней мишени на динамику пучка в накопителе
Опубликовано: (Харьков, [Б. и.], 1970)

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра
по: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Опубликовано: (2014)

Исследование механизмов интенсивного переноса атомов в веществе, облучаемом мощными наносекундными пучками заряженных частиц
по: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Опубликовано: (1994)

Квазичеренковский механизм излучения релятивистских электронов, пролетающих вблизи многослойной призматической мишени
Опубликовано: (2020)

Среднеквадратичные отклонения атомов - наномасштабный индикатор состояния поверхности
Опубликовано: (2020)

Влияние теплофизических характеристик материала покрытия на энергетическое состояние атомов обрабатываемой поверхности при газотермическом напылении
по: Рагулина М. П.
Опубликовано: (2016)

Влияние магнетронного распыления меди на морфологию и химический состав поверхности ВДФ-ТеФЭ мембран
по: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Опубликовано: (2020)

Рекомбинация атомов на поверхности твердых тел и сопутствующие эффекты
по: Харламов В. Ф. Владимир федорович
Опубликовано: (Томск, Изд-во Томского ун-та, 1994)

Эффект отдачи при рекомбинации атомов на поверхности твердого тела
по: Васильев А. А. Анатолий Анатольевич
Опубликовано: (1988)

Модифицирование поверхности изделий на основе полиэфирэфиркетона методом высокочастотного магнетронного напыления
по: Акимченко И. О. Игорь Олегович
Опубликовано: (2021)

Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода
по: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Опубликовано: (2010)

Влияние магнетронного со-распыления титановой и медной мишеней на элементный состав поверхности скаффолдов из поликапролактона
по: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Опубликовано: (2021)