Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 176-179 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491452 |