Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 176-179 |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 其他作者: | |
| 语言: | 俄语 |
| 出版: |
2009
|
| 主题: | |
| 格式: | 本书章节 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491452 |