Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 176-179 |
|---|---|
| Auteur principal: | |
| Autres auteurs: | |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2009
|
| Sujets: | |
| Format: | Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491452 |