Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)

Podrobná bibliografie
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 176-179
Hlavní autor: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Další autoři: Янин С. Н. Сергей Николаевич
Jazyk:ruština
Vydáno: 2009
Témata:
Médium: MixedMaterials Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491452

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 491452
005 20240212102552.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\160438 
035 |a RU\TPU\prd\160437 
090 |a 491452 
100 |a 20121127a2009 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда  |f В. П. Кривобоков, С. Н. Янин 
320 |a Библиогр.: с. 179 (3 назв.) 
461 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191  |t Известия вузов. Физика  |f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет  |d 1958- 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\127039  |t Т. 52, № 11/2 (приложение)  |v С. 176-179  |d 2009 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
701 1 |a Янин  |b С. Н.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1958-  |g Сергей Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30792  |9 15048 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20121127 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160220  |g RCR 
942 |c BK