|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
491414 |
| 005 |
20240212102509.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\160392
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\160388
|
| 090 |
|
|
|a 491414
|
| 100 |
|
|
|a 20121127a2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом
|f Р. С. Третьяков, В. П. Кривобоков, С. Н. Янин
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 124 (6 назв.)
|
| 461 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\126661
|t Т. 53, № 10/2 (приложение)
|v С. 119-124
|d 2010
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Третьяков
|b Р. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 701 |
|
1 |
|a Янин
|b С. Н.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1958-
|g Сергей Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30792
|9 15048
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121127
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160220
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
