Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 119-124 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491414 |