Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом

Podrobná bibliografie
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 119-124
Hlavní autor: Третьяков Р. С.
Další autoři: Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Jazyk:ruština
Vydáno: 2010
Témata:
Médium: Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491414