Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 119-124 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| Médium: | Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491414 |
| Žádný popis. |