|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
491399 |
| 005 |
20250917071652.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\160374
|
| 090 |
|
|
|a 491399
|
| 100 |
|
|
|a 20121127a2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Методы исследования структуры нанокристаллических покрытий с использованием синхротронного излучения
|f Р. М. Галимов [и др.]
|
| 330 |
|
|
|a Рассмотрены методы исследования нанокристаллических слоев и покрытий, получаемых плазменными и пучковыми технологиями с использованием дифракционных и спектральных методов, развиваемых на источниках синхротронного излучения. Представлено описание экспериментальных установок. Методы иллюстрируются примерами проведенных исследований нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана. Приведены результаты исследований покрытий методами рентгеноструктурного и рентгенофлуоресцентного анализа. Определены распределения кристаллитов по размерам. Обсуждается модель формирования наноразмерных структур.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\126661
|t Т. 53, № 10/2 (приложение)
|v С. 139-145
|d 2010
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Галимов
|b Р. М.
|c физик
|c ассистент кафедры Томского политехнического университета
|f 1989-
|g Руслан Маликович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29640
|
| 701 |
|
1 |
|a Тимченко
|b Н. А.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Николай Алексеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28152
|
| 701 |
|
1 |
|a Чернов
|b И. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1935-2025
|g Иван Петрович
|x TPU
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\12909
|9 3694
|
| 701 |
|
1 |
|a Иванов
|b Ю. Ф.
|c российский ученый, специалист в области наноматериалов и нанотехнологий
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|c ведущий научный сотрудник Института сильноточной электроники СО РАН
|f 1955-
|g Юрий Федорович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28208
|
| 701 |
|
1 |
|a Крысина
|b О. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Слободский
|b Т.
|g Тарас
|
| 701 |
|
1 |
|a Коваль
|b Н. Н.
|c специалист в области электроники
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Николай Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121127
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160411
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
