Методы исследования структуры нанокристаллических покрытий с использованием синхротронного излучения
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 139-145 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Summary: | Рассмотрены методы исследования нанокристаллических слоев и покрытий, получаемых плазменными и пучковыми технологиями с использованием дифракционных и спектральных методов, развиваемых на источниках синхротронного излучения. Представлено описание экспериментальных установок. Методы иллюстрируются примерами проведенных исследований нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана. Приведены результаты исследований покрытий методами рентгеноструктурного и рентгенофлуоресцентного анализа. Определены распределения кристаллитов по размерам. Обсуждается модель формирования наноразмерных структур. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491399 |