Изменение структурно-фазового состояния покрытия TiN под воздействием мощных ионных пучков

Изменение структурно-фазового состояния покрытия TiN под воздействием мощных ионных пучков

Bibliographic Details
Parent link:Физика и химия обработки материалов/ Российская академия наук (РАН), Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова (ИМЕТ).— , 1968-
№ 3.— 2000.— С. 18-23
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Other Authors: Полещенко К. Н., Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович, Иванов Ю. Ф., Волошина И. Г., Поворознюк С. Н., Вершинин Г. А.
Summary:Методами просвечивающей электронной микроскопии тонких фольг исследованы изменения структурно-фазового состояния ионно-плазменного TiN покрытия в зависимости от режимов облучения мощным импульсным ионным пучком. Проанализирована эволюция структурно-фазового состояния покрытия по глубине.
Language:Russian
Published: 2000
Subjects:
труды учёных ТПУ
покрытия
структурно-фазовые состояния
изменения
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=484090

Similar Items

Similar Items