Изменение структурно-фазового состояния покрытия TiN под воздействием мощных ионных пучков
| Parent link: | Физика и химия обработки материалов/ Российская академия наук (РАН), Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова (ИМЕТ).— , 1968- № 3.— 2000.— С. 18-23 |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , , , |
| Summary: | Методами просвечивающей электронной микроскопии тонких фольг исследованы изменения структурно-фазового состояния ионно-плазменного TiN покрытия в зависимости от режимов облучения мощным импульсным ионным пучком. Проанализирована эволюция структурно-фазового состояния покрытия по глубине. |
| Published: |
2000
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=484090 |