Изменение структурно-фазового состояния покрытия TiN под воздействием мощных ионных пучков; Физика и химия обработки материалов; № 3

Bibliografiske detaljer
Parent link:Физика и химия обработки материалов/ Российская академия наук (РАН), Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова (ИМЕТ).— , 1968-
№ 3.— 2000.— С. 18-23
Institution som forfatter: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Andre forfattere: Полещенко К. Н., Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович, Иванов Ю. Ф., Волошина И. Г., Поворознюк С. Н., Вершинин Г. А.
Summary:Методами просвечивающей электронной микроскопии тонких фольг исследованы изменения структурно-фазового состояния ионно-плазменного TiN покрытия в зависимости от режимов облучения мощным импульсным ионным пучком. Проанализирована эволюция структурно-фазового состояния покрытия по глубине.
Sprog:russisk
Udgivet: 2000
Fag:
Format: MixedMaterials Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=484090

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 484090
005 20231101094332.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\151691 
035 |a RU\TPU\prd\151661 
090 |a 484090 
100 |a 20120917a2000 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Изменение структурно-фазового состояния покрытия TiN под воздействием мощных ионных пучков  |f К. Н. Полещенко [и др.] 
320 |a Библиогр.: с. 23 (11 назв.) 
330 |a Методами просвечивающей электронной микроскопии тонких фольг исследованы изменения структурно-фазового состояния ионно-плазменного TiN покрытия в зависимости от режимов облучения мощным импульсным ионным пучком. Проанализирована эволюция структурно-фазового состояния покрытия по глубине. 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\404  |t Физика и химия обработки материалов  |f Российская академия наук (РАН), Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова (ИМЕТ)  |d 1968- 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\94360  |t № 3  |v С. 18-23  |d 2000 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a структурно-фазовые состояния 
610 1 |a изменения 
701 1 |a Полещенко  |b К. Н. 
701 1 |a Ремнев  |b Г. Е.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1948-  |g Геннадий Ефимович  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 
701 1 |a Иванов  |b Ю. Ф. 
701 1 |a Волошина  |b И. Г. 
701 1 |a Поворознюк  |b С. Н. 
701 1 |a Вершинин  |b Г. А. 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)  |b Лаборатория № 1  |h 6378  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19035 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20120913 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150626  |g RCR 
942 |c BK