Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления; Вестник науки Сибири; № 3 (4)

Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления; Вестник науки Сибири; № 3 (4)

Bibliographic Details
Parent link:	Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 3 (4).— 2012.— [С. 89-98]
Other Authors:	Балан Н. Н. Никита Николаевич, Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Лучников П. А. Петр Александрович, Невский А. Б. Александр Борисович
Summary:	Заглавие с титульного листа Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера.
Language:	Russian
Published:	2012
Series:	Инженерные науки
Subjects:	электроника микроэлектроника микроэлектронные приборы острийные эмиттеры электронная эмиссия катодные узлы туннельные преобразователи силициды платина термический отжиг туннельный ток электронный ресурс
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=480370

Similar Items

Острийные полевые эмиттеры с фуллереновым покрытием; Журнал технической физики; Т. 72, вып. 2
Published: (2002)

Высокоэффективный эмиттер электронов на основе гексаборида лантана
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Теоретическое исследование процессов в единичном взрывоэмиссионном центре: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.04
by: Парфенов А. Г. Андрей Григорьевич
Published: (Томск, 1984)

Effect of irradiation and thermal annealing on quartz materials luminescence; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
by: Korovkin M. V. Mikhail Vladimirovich
Published: (2017)

Туннельные свойства сверхпроводящих сплавов: монография
by: Москаленко В. А. Всеволод Апатольевич
Published: (Кишинев, Штиинца, 1978)

Эмиттеры с отрицательным электродным средством: пер. с англ.
by: Белл Р. Л.
Published: (Москва, Энергия, 1978)

Взрывная электронная эмиссия
by: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Published: (Москва, Физматлит, 2011)

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
by: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Published: (Минск, Наука и техника, 1992)

Экспериментальное исследование взрывной эмиссии электронов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.12.10
by: Баженов Г. П.
Published: (Томск, Изд-во ТПИ, 1972)

Эмиссионная электроника: учебное пособие
by: Ковальский Г. А.
Published: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1977)

Проблемы физической электроники-91: [сборник научных трудов]
Published: (Ленинград, Изд-во ФТИ, 1991)

Физические основы приборов микроэлектроники: сборник научных трудов
Published: (Москва, МИЭТ, 1988)

Силициды для СБИС
by: Мьюрарка Ш. П. Шиям П.
Published: (Москва, Мир, 1986)

Структурные изменения в плёнках субфталоцианина SubPcBCl при температурном отжиге; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Published: (2011)

Туннельные явления в твердых телах: [лекции]
Published: (Москва, Мир, 1973)

Экспериентальное исследование взрывной эмиссии электронов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.12.10
by: Баженов Г. П. Геннадий Пантелеевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1972)

Управляемое диссипативное туннелирование. Туннельный транспорт в низкоразмерных системах
Published: (Москва, Физматлит, 2011)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Моделирование поверхностно-объемного заряжения диэлектрика электронами с энергией от 6 до 30 keV; Журнал технической физики; Т. 93, вып. 6
by: Зыков В. М. Владимир Михайлович
Published: (2023)

Фотоэлектронная и вторичная электронная эмиссия атомов: учебное пособие
by: Ковальский Г. А.
Published: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Микроэлектроника в электроприборостроении: сборник научных трудов
Published: (Ленинград, ВНИИЭП, 1989)

Точностные расчеты в микроэлектронике
by: Шумилин А. С. Анатолий Семенович
Published: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1980)

Введение в цифровую технику
by: Партин А. С. Алексей Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1987)

Кн. 2: Полупроводниковые интегральные микросхемы; Микроэлектроника
by: Казенов Г. Г. Геннадий Георгиевич
Published: (1987)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Published: (Москва, Энергия, 1976)

Источники электронов с плазменным эмиттером
Published: (Новосибирск, Наука, 1983)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
by: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Published: (Москва, Металлургия, 1980)

Силициды
Published: (Москва, Наука, 1991)

Транзисторно-транзисторные логические интегральные схемы и их применение: пер. с англ.
by: Скарлетт Дж.
Published: (Москва, Мир, 1974)

Электронная техника. Сер. 10 : Микроэлектронные устройства: научно-технический сборник
Published: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1979-1982, 1992)

Полупроводниковые термоэлектрические энергоэффективные устройства
by: Исмаилов Т. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2021)

Технологические проблемы микроэлектроники
Published: (Москва, Наука, 1988)

Влияние радиационно-термического отжига на протекание восстановительных реакций в поликристаллических ферритах; Перспективные материалы; № 5
Published: (2004)

Схемотехника микроэлектронной аппаратуры
by: Полковский И. М. Иосиф Меерович
Published: (Москва, Радио и связь, 1981)

№ 277: Физическая электроника: [сборник]; Труды Ленинградского политехнического института имени М. И. Калинина
Published: (Ленинград, Энергия, 1967)

Тугоплавкие бориды и силициды: [сборник статей]
Published: (Киев, Наукова думка, 1977)

Микроэлектроника: достижения и пути развития
by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Published: (Москва, Наука, 1986)

Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике
by: Красов В. Г. Владимир Григорьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Калориметрические исследования радиационно-термически синтезированного пентаферрита лития; Вестник Казанского технологического университета; № 2
Published: (2010)

Кн. 3: Базовые матричные кристаллы и программируемые логические матрицы; Микроэлектроника
by: Пономарев М. Ф. Михаил Федорович
Published: (1987)