Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления

Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 3 (4).— 2012.— [С. 89-98]
Altres autors:	Балан Н. Н. Никита Николаевич, Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Лучников П. А. Петр Александрович, Невский А. Б. Александр Борисович
Sumari:	Заглавие с титульного листа Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера.
Idioma:	rus
Publicat:	2012
Col·lecció:	Инженерные науки
Matèries:	электроника микроэлектроника микроэлектронные приборы острийные эмиттеры электронная эмиссия катодные узлы туннельные преобразователи силициды платина термический отжиг туннельный ток электронный ресурс
Accés en línia:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=480370

Ítems similars

Острийные полевые эмиттеры с фуллереновым покрытием
Publicat: (2002)

Высокоэффективный эмиттер электронов на основе гексаборида лантана
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Теоретическое исследование процессов в единичном взрывоэмиссионном центре автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.04
per: Парфенов А. Г. Андрей Григорьевич
Publicat: (Томск, 1984)

Effect of irradiation and thermal annealing on quartz materials luminescence
per: Korovkin M. V. Mikhail Vladimirovich
Publicat: (2017)

Взрывная электронная эмиссия
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (Москва, Физматлит, 2011)

Эмиттеры с отрицательным электродным средством пер. с англ.
per: Белл Р. Л.
Publicat: (Москва, Энергия, 1978)

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
per: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1992)

Экспериментальное исследование взрывной эмиссии электронов диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец.05.12.10
per: Баженов Г. П.
Publicat: (Томск, Изд-во ТПИ, 1972)

Эмиссионная электроника учебное пособие
per: Ковальский Г. А.
Publicat: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1977)

Проблемы физической электроники-91 [сборник научных трудов]
Publicat: (Ленинград, Изд-во ФТИ, 1991)

Физические основы приборов микроэлектроники сборник научных трудов
Publicat: (Москва, МИЭТ, 1988)

Силициды для СБИС
per: Мьюрарка Ш. П. Шиям П.
Publicat: (Москва, Мир, 1986)

Экспериентальное исследование взрывной эмиссии электронов автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.12.10
per: Баженов Г. П. Геннадий Пантелеевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1972)

Структурные изменения в плёнках субфталоцианина SubPcBCl при температурном отжиге
Publicat: (2011)

Туннельные явления в твердых телах [лекции]
Publicat: (Москва, Мир, 1973)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Publicat: (Москва, Энергия, 1979)

Управляемое диссипативное туннелирование. Туннельный транспорт в низкоразмерных системах
Publicat: (Москва, Физматлит, 2011)

Фотоэлектронная и вторичная электронная эмиссия атомов учебное пособие
per: Ковальский Г. А.
Publicat: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Силициды
Publicat: (Москва, Наука, 1991)

Точностные расчеты в микроэлектронике
per: Шумилин А. С. Анатолий Семенович
Publicat: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1980)

Микроэлектроника в электроприборостроении сборник научных трудов
Publicat: (Ленинград, ВНИИЭП, 1989)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники пер. с англ.
per: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Publicat: (Москва, Металлургия, 1980)

Моделирование поверхностно-объемного заряжения диэлектрика электронами с энергией от 6 до 30 keV
per: Зыков В. М. Владимир Михайлович
Publicat: (2023)

Электронная техника. Сер. 10 : Микроэлектронные устройства научно-технический сборник
Publicat: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1979-1982, 1992)

Транзисторно-транзисторные логические интегральные схемы и их применение пер. с англ.
per: Скарлетт Дж.
Publicat: (Москва, Мир, 1974)

Полупроводниковые термоэлектрические энергоэффективные устройства
per: Исмаилов Т. А.
Publicat: (Санкт-Петербург, Лань, 2021)

Тугоплавкие бориды и силициды [сборник статей]
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1977)

Источники электронов с плазменным эмиттером
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1983)

Влияние радиационно-термического отжига на протекание восстановительных реакций в поликристаллических ферритах
Publicat: (2004)

Технологические проблемы микроэлектроники
Publicat: (Москва, Наука, 1988)

№ 277: Физическая электроника [сборник]
Publicat: (Ленинград, Энергия, 1967)

Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике
per: Красов В. Г. Владимир Григорьевич
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1985)

Микроэлектроника: достижения и пути развития
per: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publicat: (Москва, Наука, 1986)

Электронные лампы. Теория и конструирование пер. с англ.
per: Бекк А.
Publicat: (Москва, Советское радио, 1958)

Калориметрические исследования радиационно-термически синтезированного пентаферрита лития
Publicat: (2010)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига
per: Лязгин А. О.
Publicat: (2010)

Физико-технологические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Publicat: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Влияние ультразвуковой обработки и последующего термического отжига на механические свойства образцов титанового сплава ВТ5-1
per: Панин А. В. Алексей Викторович
Publicat: (2003)

Ч. III
Publicat: (1979)

Физика микроэлектронных приборов сборник научных трудов
Publicat: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1981)