Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления

Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления

Bibliographic Details
Parent link:	Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 3 (4).— 2012.— [С. 89-98]
Other Authors:	Балан Н. Н. Никита Николаевич, Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Лучников П. А. Петр Александрович, Невский А. Б. Александр Борисович
Summary:	Заглавие с титульного листа Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера.
Language:	Russian
Published:	2012
Series:	Инженерные науки
Subjects:	электроника микроэлектроника микроэлектронные приборы острийные эмиттеры электронная эмиссия катодные узлы туннельные преобразователи силициды платина термический отжиг туннельный ток электронный ресурс
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=480370

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063