Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления; Вестник науки Сибири; № 3 (4)
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 3 (4).— 2012.— [С. 89-98] |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , , , |
| Zusammenfassung: | Заглавие с титульного листа Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера. |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2012
|
| Schriftenreihe: | Инженерные науки |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=480370 |