Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления; Вестник науки Сибири; № 3 (4)
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 3 (4).— 2012.— [С. 89-98] |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | , , , |
| Gaia: | Заглавие с титульного листа Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера. |
| Hizkuntza: | errusiera |
| Argitaratua: |
2012
|
| Saila: | Инженерные науки |
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063 |
| Formatua: | Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=480370 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 480370 | ||
| 005 | 20231101093528.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\prd\147516 | ||
| 035 | |a RU\TPU\prd\147515 | ||
| 090 | |a 480370 | ||
| 100 | |a 20120816d2012 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Острийные эмиттеры электронов микроприборов и конструктивно-технологические особенности их изготовления |f Н. Н. Балан [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (966 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Инженерные науки | |
| 230 | |a Электронные текстовые данные (1 файл : 966 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 97-98 (28 назв.)] | ||
| 330 | |a Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143680 |x 2226-0064 |t Вестник науки Сибири |o электронный научный журнал |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2011- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\146314 |t № 3 (4) |v [С. 89-98] |d 2012 | |
| 610 | 1 | |a электроника | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a микроэлектронные приборы | |
| 610 | 1 | |a острийные эмиттеры | |
| 610 | 1 | |a электронная эмиссия | |
| 610 | 1 | |a катодные узлы | |
| 610 | 1 | |a туннельные преобразователи | |
| 610 | 1 | |a силициды | |
| 610 | 1 | |a платина | |
| 610 | 1 | |a термический отжиг | |
| 610 | 1 | |a туннельный ток | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 675 | |a 621.382.049.077.001.576(06) |v 3 | ||
| 701 | 1 | |a Балан |b Н. Н. |g Никита Николаевич | |
| 701 | 1 | |a Ивашов |b Е. Н. |g Евгений Николаевич | |
| 701 | 1 | |a Лучников |b П. А. |g Петр Александрович | |
| 701 | 1 | |a Невский |b А. Б. |g Александр Борисович | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20180115 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16063 | |
| 942 | |c BK | ||