Особенности РОР-спектроскопии тонких пленок перовскитов
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (2).— 2012.— [С. 126-133] |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Проведены исследования тонких перовскитных пленок барий-стронциевого титаната (Ba1-xSrxTiO3) на монокристаллических подложках типа Si [100], MgO [100] и NdGaO3 [100] методом резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия и рентгенофлуоресцентного анализа при полном внешнем отражении потока возбуждения. Рассмотрены особенности метода РОР-спектроскопии и его ожидаемое следствие при анализе тонких перовскитных пленок Ba1-xSrxTiO3 на различных типах монокристаллических подложек. Определена степень их элементной неоднородности по толщине и степень диффузионного загрязнения атомами подложек. |
| Published: |
2012
|
| Series: | Инженерные науки |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15961 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=478738 |