Контроль параметров омических контактов непосредственно в процессе их отжига
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (2).— 2012.— [С. 109-114] |
|---|---|
| Drugi avtorji: | , , , |
| Izvleček: | Заглавие с титульного листа Проведен анализ процесса отжига омических контактов к полупроводниковым структурам на основе арсенида галлия и его твердых растворов с контролем сопротивления непосредственно в процессе отжига. Приведена эмпирическая формула зависимости приведенного поверхностного сопротивления от температуры. Представлена физическая модель формирования омических контактов. |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
2012
|
| Serija: | Инженерные науки |
| Teme: | |
| Online dostop: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15928 |
| Format: | Elektronski Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=478732 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 478732 | ||
| 005 | 20240223064749.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\prd\145574 | ||
| 035 | |a RU\TPU\prd\145572 | ||
| 090 | |a 478732 | ||
| 100 | |a 20120702d2012 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Контроль параметров омических контактов непосредственно в процессе их отжига |f В. В. Дохтуров [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (952 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Инженерные науки | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 114 (6 назв.)] | ||
| 330 | |a Проведен анализ процесса отжига омических контактов к полупроводниковым структурам на основе арсенида галлия и его твердых растворов с контролем сопротивления непосредственно в процессе отжига. Приведена эмпирическая формула зависимости приведенного поверхностного сопротивления от температуры. Представлена физическая модель формирования омических контактов. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143680 |x 2226-0064 |t Вестник науки Сибири |o электронный научный журнал |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2011- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\145194 |t № 1 (2) |v [С. 109-114] |d 2012 | |
| 610 | 1 | |a омические контакты | |
| 610 | 1 | |a параметры | |
| 610 | 1 | |a контроль | |
| 610 | 1 | |a сопротивление | |
| 610 | 1 | |a отжиг | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 675 | |a 621.383 |v 3 | ||
| 701 | 1 | |a Дохтуров |b В. В. |g Всеволод Всеволодович | |
| 701 | 1 | |a Смирнов |b С. В. |g Серафим Всеволодович | |
| 701 | 1 | |a Юрченко |b А. В. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1974- |g Алексей Васильевич |y Томск |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25599 |9 11528 | |
| 701 | 1 | |a Юрченко |b В. И. |g Василий Иванович | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20180115 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15928 | |
| 942 | |c BK | ||