Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Юрчук С. Ю.
Özet:	Рекомендовано редакционно-издательским советом университета Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Baskı/Yayın Bilgisi:	Москва, МИСИС, 2013
Konular:	компьютерное моделирование математическое моделирование оптическая литография проекционная литография фотолитографические процессы электронная литография электронная эмиссия
Online Erişim:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47470 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47470.jpg
Materyal Türü:	Elektronik Kitap

Benzer Materyaller

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
Yazar:: Юрчук С. Ю.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИС, 2013)

Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
Yazar:: Попов В. К. Виктор Кузьмич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Радио и связь, 1985)

Физика субмикронной литографии
Yazar:: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1990)

Сканирующая зондовая литография: Описание лабораторной работы
Yazar:: Круглов А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)

Модификация поверхности - путь к магнитной памяти
Baskı/Yayın Bilgisi: (2002)

Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
Yazar:: Букатин А. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1987)

Теоретическое и экспериментальные исследования течения жидкостей в микрофлюидных устройствах
Yazar:: Букатин А. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Искусство литографии практическое руководство для художников
Yazar:: Суворов П. И. Петр Иванович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Искусство, 1952)

Искусство литографии практическое руководство для художников
Yazar:: Суворов П. И. Петр Иванович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Искусство, 1964)

Микроструктурирование тонких пленок
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1991)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Yazar:: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Радио и связь, 1984)

Vapor Annealing and Colloid Lithography: An Effective Tool To Control Spatial Resolution of Surface Modification
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Рентгеновская оптика сборник статей
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1989)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
Yazar:: Сергеев В. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Hydrophilic/hydrophobic surface modification impact on colloid lithography: Schottky-like defects, dislocation, and ideal distribution
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Yazar:: Курочка С. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИС, 2015)

LIGA-технология
Yazar:: Родионова Е. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Физические основы микротехнологии пер. с англ.
Yazar:: Броудай И. Ивор
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Мир, 1985)

Оптимальное проектирование электронно-оптических устройств текст лекций
Yazar:: Мельников А. А. Александр Александрович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1988)

Наноструктуры и наноматериалы. Синтез, свойства и применение пер. с англ. 2-го изд.
Yazar:: Цао Г. Гочжун
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Научный мир, 2012)

Микроэлектроника научный журнал
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1973-)

Электронно-лучевая обработка в сварке
Yazar:: Беленький В. Я.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Пермь, ПНИПУ, 2021)

Технологическое обеспечение плотности межсоединений печатных плат
Yazar:: Мылов Г. В. Геннадий Васильевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Горячая линия-Телеком, 2016)

Об искусстве графики
Yazar:: Гончаров А. Д. Андрей Дмитриевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Молодая гвардия, 1960)

Liga method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Краткий курс репродукционных процессов. учебник для техникумов и учебное пособие для курсов подготовки издательских работников
Yazar:: Суворов П. И.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Изд-во легкой промышленности, 1939)

МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов сборник лекций пер. с англ.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Радио и связь, 1988)

Ч. 2
Baskı/Yayın Bilgisi: (1990)

Физические основы микроэлектроники учебник для вузов
Yazar:: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Академия, 2008)

Успехи наноинженерии: электроника, материалы, структуры
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Техносфера, 2011)

Физика нефтяных и газовых коллекторов
Yazar:: Котяхов Ф. И. Федор Иванович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Недра, 1977)

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Yazar:: Архипов А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Самара, Самарский университет, 2022)

Ленинградская станковая литография, 1933-1963: из истории экспериментальной графической мастерской ЛОСХа каталог выставки
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, [Б. и.], 1986)

Графика Матисса
Yazar:: Зубова М. В. Мария Васильевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Искусство, 1977)

Правила светской жизни и этикета. Хороший тон сборник советов и наставлений
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, РИПОЛ, 1991)

Виды Томска и его окрестностей каталог-альбом литографий
Yazar:: Колосов М.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТГУ, 2015)

Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление пер. с англ.
Yazar:: Тилл У. Уильям
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Мир, 1985)

Светочувствительные полимерные материалы
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, Химия, 1985)