Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Рабинович О. И.
مؤلفون آخرون: Крутогин Д. Г.
الملخص:Рекомендовано редакционно-издательским советом университета
В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций.
Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
منشور في: Москва, МИСИС, 2013
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47468
https://e.lanbook.com/img/cover/book/47468.jpg
التنسيق: الكتروني كتاب

مواد مشابهة