Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций. Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47468 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47468.jpg |
| Format: | Electronic Book |
