Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
| 1. autor: | |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | |
| Streszczenie: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций. Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Wydane: |
Москва, МИСИС, 2013
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47468 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47468.jpg |
| Format: | Elektroniczne Książka |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 47468 | ||
| 010 | |a 978-5-87623-710-1 | ||
| 100 | |a 20200604d2013 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов |b Электронный ресурс |f Рабинович О. И., Крутогин Д. Г. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МИСИС |d 2013 | ||
| 215 | |a 42 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано редакционно-издательским советом университета | ||
| 330 | |a В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a полупроводниковые материалы | |
| 610 | 0 | |a спектрофотометрия | |
| 610 | 0 | |a тонкопленочные материалы | |
| 675 | |a 621.38 | ||
| 700 | 1 | |a Рабинович |b О. И. | |
| 701 | 1 | |a Крутогин |b Д. Г. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47468 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/47468.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/47468.jpg | ||