Наноэлектроника. Курс лекций
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Курс лекций представляет собой практическое руководство для студентов и аспирантов технических вузов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47464 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47464.jpg |
| Format: | Electronic Book |
