Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Кузнецов Г. Д.
Andre forfattere:	Кушхов А. Р., Сергиенко А. А., Харламов Н. А.
Summary:	Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Udgivet:	Москва, МИСИС, 2012
Fag:	ионная имплантация ионное внедрение ионы ускоренные наноиндустрия наноматериалы (технология) нанотехнологии технология элионная (основы) ускоренные ионы
Online adgang:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47462 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47462.jpg
Format:	Electronisk Bog

Lignende værker

Тепломассоперенос в твердом теле под действием мощных пучков заряженных частиц
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (Новосибирск, Наука, 1999)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии курс лекций
af: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Udgivet: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Сравнение радиационного воздействия на металлическую мишень ускоренных атомов и ионов
af: Прима А. И. Артем Игоревич
Udgivet: (2020)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge
Udgivet: (2004)

Модификация Ni нанотрубок путем имплантации ионов С3+
af: Ибраева К. Т. Канипа Талгатовна
Udgivet: (2017)

Измерение параметров пучка ускоренных ионов на импульсном ускорителе ИДМ-20
af: Звягинцев О. А. Олег Анатольевич
Udgivet: (2014)

Измерение параметров пучка ускоренных ионов на импульсном ускорителе ИДМ-20
af: Звягинцев О. А. Олег Анатольевич
Udgivet: (2014)

Катодолюминесцентные свойства YAG керамики активированной ионами TB, СE
af: Ваганов В. А. Виталий Андреевич
Udgivet: (2019)

Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
af: Кузнецов Г. Д.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2012)

Ренгенофлуоресцентный анализ возбуждением ускоренными легкими ионами
af: Муминов В. А. Вафо Арабович
Udgivet: (Ташкент, Фан, 1980)

The electrical conductivity of the surface layers of oxide polycrystalline semiconductors irradiated by accelerated ions
af: Frangulyan (Franguljyan) Т. S. Tamara Semenovna
Udgivet: (2015)

Ионная имплантация и лучевая технология пер. с англ.
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1988)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность
Udgivet: (2024)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия
Udgivet: (2022)

High-Intensity Implantation of Metal Ions in Conditions of Minimizing Ion Sputtering of the Material Surface
Udgivet: (2019)

Радиационная физика твердого тела (16.04.01) электронный курс
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (Томск, TPU Moodle, 2023)

On Reproducibility of Collective Acceleration of Protons in a Plasma-Anode Diode System
af: Lopatin V. S. Valery Stepanovich
Udgivet: (2019)

Формирование пучков ионов хрома субмиллисекундной длительности с высокой импульсной плотностью мощности
af: Гурулев А. В. Александр Валерьевич
Udgivet: (2023)

Высокоинтенсивная имплантация ионов титана в алюминий в условиях импульсно-периодического энергетического воздействия пучка на поверхность
af: Зайцев Д. Д.
Udgivet: (2023)

Обработка титанового сплава ВТ8М мощными ионными пучками наносекундной длительности
Udgivet: (1997)

Ионная имплантация сборник статей
Udgivet: (Москва, Металлургия, 1985)

Надежность в технике. Ускоренные испытания. Основные положения Методические указания. РД 50-424-83
Udgivet: (Москва, Издательство стандартов, 1984)

Формирование мощных импульсных пучков ионов титана субмиллисекундной длительности из плазмы вакуумной дуги
Udgivet: (2022)

Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота
af: Белый А. В.
Udgivet: (2002)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.04, 01.04.01
af: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2006)

Ускоренные испытания на усталость
af: Олейник Н. В. Николай Васильевич
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1985)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Udgivet: (Москва, Юрайт, 2016)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.04, 01.04.01
af: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Udgivet: (Москва, [Б. и.], 2007)

Т. 2
Udgivet: (2003)

Неорганические наноматериалы в медицине и онкологии: экологические аспекты и риски учебное пособие для вузов
af: Блинов Л. Н.
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Т. 1
Udgivet: (1995)

Т. 2
Udgivet: (1995)

Ускоренные испытания на ресурс прецизионного редуктора
af: Янгулов В. С. Владимир Семенович
Udgivet: (2008)

Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота
Udgivet: (2018)

Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии учебное пособие
Udgivet: (Москва, Логос, 2011)

Ионная имплантация
af: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Udgivet: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)

Influence of Implantation on the Grain Size and Structural-Phase State of UFG-Titanium
Udgivet: (2019)

Ускоренные ресурсные испытания приборных зубчатых приводов
af: Благодарный В. М. Владимир Маркович
Udgivet: (Москва, Машиностроение, 1980)

Поведение систем металл - водород при радиационном воздействии диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук Спец. 01.04.07
af: Черданцев Ю. П. Юрий Петрович
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2005)

Ускоренные испытания синхронных генераторов на надежность
af: Беллуян З. А.
Udgivet: (2005)