Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы

Bibliographic Details
Main Author:	Кузнецов Г. Д.
Other Authors:	Кушхов А. Р., Сергиенко А. А., Харламов Н. А.
Summary:	Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Published:	Москва, МИСИС, 2012
Subjects:	ионная имплантация ионное внедрение ионы ускоренные наноиндустрия наноматериалы (технология) нанотехнологии технология элионная (основы) ускоренные ионы
Online Access:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47462 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47462.jpg
Format:	Electronic Book

Similar Items

Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Тепломассоперенос в твердом теле под действием мощных пучков заряженных частиц
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (Новосибирск, Наука, 1999)

Сравнение радиационного воздействия на металлическую мишень ускоренных атомов и ионов; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
by: Прима А. И. Артем Игоревич
Published: (2020)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Published: (2004)

Модификация Ni нанотрубок путем имплантации ионов С3+; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Ибраева К. Т. Канипа Талгатовна
Published: (2017)

Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
by: Кузнецов Г. Д.
Published: (Москва, МИСИС, 2012)

Измерение параметров пучка ускоренных ионов на импульсном ускорителе ИДМ-20; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Звягинцев О. А. Олег Анатольевич
Published: (2014)

Катодолюминесцентные свойства YAG керамики активированной ионами TB, СE; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Ваганов В. А. Виталий Андреевич
Published: (2019)

Измерение параметров пучка ускоренных ионов на импульсном ускорителе ИДМ-20; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Звягинцев О. А. Олег Анатольевич
Published: (2014)

Ренгенофлуоресцентный анализ возбуждением ускоренными легкими ионами
by: Муминов В. А. Вафо Арабович
Published: (Ташкент, Фан, 1980)

The electrical conductivity of the surface layers of oxide polycrystalline semiconductors irradiated by accelerated ions; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
by: Frangulyan (Franguljyan) Т. S. Tamara Semenovna
Published: (2015)

Ионная имплантация и лучевая технология: пер. с англ.
Published: (Киев, Наукова думка, 1988)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Published: (2024)

High-Intensity Implantation of Metal Ions in Conditions of Minimizing Ion Sputtering of the Material Surface; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Published: (2019)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Published: (2022)

Радиационная физика твердого тела (16.04.01): электронный курс
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (Томск, TPU Moodle, 2023)

On Reproducibility of Collective Acceleration of Protons in a Plasma-Anode Diode System; Russian Physics Journal; Vol. 61, iss. 12
by: Lopatin V. S. Valery Stepanovich
Published: (2019)

Формирование пучков ионов хрома субмиллисекундной длительности с высокой импульсной плотностью мощности; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
by: Гурулев А. В. Александр Валерьевич
Published: (2023)

Высокоинтенсивная имплантация ионов титана в алюминий в условиях импульсно-периодического энергетического воздействия пучка на поверхность; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
by: Зайцев Д. Д.
Published: (2023)

Обработка титанового сплава ВТ8М мощными ионными пучками наносекундной длительности; Физика и химия обработки материалов; № 4
Published: (1997)

Ионная имплантация: сборник статей
Published: (Москва, Металлургия, 1985)

Надежность в технике. Ускоренные испытания. Основные положения; Методические указания. РД 50-424-83
Published: (Москва, Издательство стандартов, 1984)

Ускоренные испытания на усталость
by: Олейник Н. В. Николай Васильевич
Published: (Киев, Наукова думка, 1985)

Формирование мощных импульсных пучков ионов титана субмиллисекундной длительности из плазмы вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Published: (2022)

Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
by: Белый А. В.
Published: (2002)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Published: (Москва, Юрайт, 2016)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Москва, [Б. и.], 2007)

Т. 1; Взаимодействие ионов с поверхностью
Published: (1995)

Т. 2; Взаимодействие ионов с поверхностью
Published: (1995)

Т. 2; Взаимодействие ионов с поверхностью. ВИП-2003
Published: (2003)

Ускоренные ресурсные испытания приборных зубчатых приводов
by: Благодарный В. М. Владимир Маркович
Published: (Москва, Машиностроение, 1980)

Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Published: (2018)

Неорганические наноматериалы в медицине и онкологии: экологические аспекты и риски учебное пособие для вузов
by: Блинов Л. Н.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: учебное пособие
Published: (Москва, Логос, 2011)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии Учебное пособие
by: Кузнецов Г.Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Издательский Дом Национального исследовательского технологического университета «МИСиС», 2008)

Ускоренные методы определения реологических свойств
by: Карташов Ю. М. Юрий Михайлович
Published: (Москва, Недра, 1973)

Ионная имплантация
by: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Published: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)

Influence of Implantation on the Grain Size and Structural-Phase State of UFG-Titanium; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Published: (2019)

Поведение систем металл - водород при радиационном воздействии: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; Спец. 01.04.07
by: Черданцев Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Томск, [Б. и.], 2005)