Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47462 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47462.jpg |
| Format: | Electronic Book |
