Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
| Autor principal: | |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Sumari: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургичес-кой секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Publicat: |
Москва, МИСИС, 2012
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47461 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47461.jpg |
| Format: | Electrònic Llibre |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 47461 | ||
| 010 | |a 978-5-87623-572-5 | ||
| 100 | |a 20200604d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны |b Электронный ресурс |f Кузнецов Г. Д., Кушхов А. Р. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МИСИС |d 2012 | ||
| 215 | |a 97 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано редакционно-издательским советом университета | ||
| 330 | |a Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургичес-кой секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника». | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 0 | |a нагрев электронно-лучевой (теория) | |
| 610 | 0 | |a тела твердые (физика) | |
| 610 | 0 | |a ускоренные электроны | |
| 610 | 0 | |a физика твердого тела (электроны) | |
| 610 | 0 | |a электронно-лучевой нагрев | |
| 610 | 0 | |a электроны ускоренные | |
| 675 | |a 621.315 | ||
| 686 | |a В372 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Кузнецов |b Г. Д. | |
| 701 | 1 | |a Кушхов |b А. Р. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47461 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/47461.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/47461.jpg | ||