Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургичес-кой секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47461 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47461.jpg |
| Format: | Electronic Book |
