Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Ионная имплантация
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В пособии кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассмотренной в качестве основного инструментального метода. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», предназначенному для подготовки магистров и бакалавров по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», а также по направлению подготовки аспирантов 01.04.10 «Физика полупроводников». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», по специальности 150601 «Материаловедение и технология новых материалов». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47458 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47458.jpg |
| Format: | Electronic Book |
