Осаждение фуллереновых пленок из абляционной плазмы, создаваемой при облучении графита мощными ионными пучками
| Parent link: | Известия Российской академии наук. Серия физическая/ Российская академия наук.— , 1992- Т. 72, № 7.— 2008.— С. 999-1002 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Показана возможность получения углеродных пленок с высоким содержанием фуллеренов C[60] и C[70] методом осаждения на подложку абляционной плазмы, генерируемой при воздействии на графитовую мишень импульсных мощных ионных пучков. Относительное количество кристаллической алмазоподобной фазы, кристаллической фазы фуллеренов и аморфной фазы углерода определено рентгеноструктурным анализом при различных условиях осаждения пленки. Измерены нанотвердость и модуль Юнга пленок, определена адгезия пленок к монокристаллической кремниевой подложке |
| Language: | Russian |
| Published: |
2008
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=462936 |