Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12; спец. 01.04.08

Bibliographic Details
Main Author:	Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Corporate Author:	Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
Other Authors:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Summary:	Защита сост. 25.12.2002
Language:	Russian
Published:	Томск, [Б. и.], 2002
Subjects:	Кремний, соединения > Химия Вольфрам, соединения > Химия Плазма > Взаимодействие с веществом химические процессы плазма газы молекулы колебательные возбуждения ускорители ускорительная техника ТЕМП плазмохимические реакции радиационно-акустическая диагностика тетрахлорид кремния сильноточный электронный пучок гексафторид вольфрама диссоциация импульсный электронный пучок авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=46293

Similar Items