Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа

書目詳細資料
Parent link:	Известия вузов. Физика.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2011
主要作者:	Семёнов А. П.
其他作者:	Семёнова И. А.
總結:	Заглавие с экрана
語言:	俄语
出版:	2011
主題:	ионы газоразрядная плазма ионное распыление пары осаждение схемы электронный ресурс
在線閱讀:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K03/342.pdf
格式:	電子 Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=459812

因特網