Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа

Бібліографічні деталі
Parent link:	Известия вузов. Физика.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2011
Автор:	Семёнов А. П.
Інші автори:	Семёнова И. А.
Резюме:	Заглавие с экрана
Мова:	Російська
Опубліковано:	2011
Предмети:	ионы газоразрядная плазма ионное распыление пары осаждение схемы электронный ресурс
Онлайн доступ:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K03/342.pdf
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=459812

Інтернет