Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа

Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2011
Main Author:	Семёнов А. П.
Other Authors:	Семёнова И. А.
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2011
Subjects:	ионы газоразрядная плазма ионное распыление пары осаждение схемы электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K03/342.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=459812

Similar Items

Формирование функциональных слоев учебное пособие
by: Панфилов Ю. В.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии
Published: (2020)

Исследование поперечного извлечения электронов и ионов из плазмы пеннинговского разряда Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Левшук Л. А.
Published: (Томск, 1969)

Источник ионов
Published: ()

Разработка и применение методов спектроскопии обратного рассеяния быстрых ионов для анализа состава и структуры ионно-облученных слоев диэлектриков
Published: (2000)

Аморфизация кристаллов Si ионами He+
by: Реутов В. Ф.
Published: (2002)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия
Published: (2022)

Энергетические спектры поверхности твердых тел, имплантированных ионами низких энергий
by: Нормурадов М. Т. Мурадулла Т.
Published: (Ташкент, Фан, 1989)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода
Published: (2021)

Влияние режимов ионного азотирования на формирование структуры поверхностных слоев режущего инструмента
Published: (1986)

Спектроскопия газоразрядной плазмы
Published: (Ленинград, Наука, 1970)

Вакуумная и газоразрядная электроника сборник научных трудов
Published: (Ленинград, Изд-во ЛЭТИ, 1985)

Газоразрядный источник квазимонохроматического ультромягкого рентгеновского излучения
by: Усенко П. Л.
Published: (2002)

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
Published: (2023)

Физика газового разряда
by: Райзер Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Москва, Наука, 1992)

Газоразрядная инжекция в однорезонаторный ускоритель
by: Юшков Ю. Г. Юрий Георгиевич
Published: (1971)

Источник псевдоленточных пучков ионов металлов
by: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Published: (2010)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.04, 01.04.01
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность
Published: (2024)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.04, 01.04.01
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Москва, [Б. и.], 2007)

Плазмохимические процессы в высокочастотной газоразрядной плазме. Лабораторный практикум учебно-методическое пособие
by: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2023)

Ионное легирование полупроводников (Кремний и германий) пер. с англ.
by: Мейер Дж. Джеймс
Published: (Москва, Мир, 1973)

Плазма газоразрядных источников света низкого давления
by: Миленин В. М. Вячеслав Михайлович
Published: (Ленинград, Изд-во ЛГУ, 1993)

Оптические методы диагностики параметров низкотемпературной газоразрядной плазмы специальный физический практикум
by: Коротков А. И. Александр Иванович
Published: (Чебоксары, 1984)

Элементарные процессы в плазме газового разряда
by: Браун С. Санброн
Published: (Москва, Госатомиздат, 1961)

Кумуляции электрического поля в диссипативных структурах в газоразрядной плазме
by: Высикайло Ф. И.
Published: (2004)

Метод газоразрядной визуализации и автоматизированная система его реализации в клинике
by: Коротков К. Г.
Published: (2002)

Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
Published: (2012)

Влияние плазменно-иммерсионной ионной модификации на свойства поверхностных слоёв образцов никелида титана
Published: (2016)

Изучение процесса распада пересыщенного твёрдого раствора в сплаве Al-4 мас.%Cu при низкодозном ионном облучении методом просвечивающей электронной микроскопии
Published: (2011)

Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015) 12th International Conference, September 6–11, 2015, Tomsk, Russia abstracts
Published: (Tomsk, Publishing House of IAO SB RAS, 2015)

Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia abstracts
Published: (Tomsk, TPU Publishing House, 2019)

Газоразрядная поличастотная диагностика поверхностного слоя материалов
by: Шустов М. А. Михаил Анатольевич
Published: (2001)

Analysis of microwave interference switches with distributed power of switched wave and plasma gas-discharge switching
Published: (2015)

Gas-discharge plasma application for ion-beam treatment of the holes' inner surfaces
Published: (2021)

Утилизация нефтяных шламов в воздушной газоразрядной плазме
by: Журович Р. А.
Published: (2024)

Газоразрядный нагреватель
Published: (1998)

Универсальный источник ионов с безканальным катодом
by: Кондратьев Б. К.
Published: (2002)

Материалы II Всесоюзного семинара по динамике сильноточного дугового разряда в магнитном поле, Новосибирск, 4-6 дек. 1991 г.
Published: (Новосибирск, ИТФ, 1992)

Исследование кинетики процессов заселения метастабильных состояний атомов и молекул в плазме газовых разрядов диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.08
by: Байсова Б. Т. Бибигуль Тулегеновна
Published: (Омск, [Б. и.], 2006)