Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Известия вузов. Физика.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2011
Glavni avtor:	Семёнов А. П.
Drugi avtorji:	Семёнова И. А.
Izvleček:	Заглавие с экрана
Jezik:	ruščina
Izdano:	2011
Teme:	ионы газоразрядная плазма ионное распыление пары осаждение схемы электронный ресурс
Online dostop:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K03/342.pdf
Format:	Elektronski Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=459812

Internet